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        鉑悅儀器(上海)有限公司

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        反射膜厚儀

        更新時間:2020-08-12

        產品品牌:Semiconsoft

        產品型號:MProbe UVVisSR

        產品描述:MProbe UVVisSR薄膜測厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。

        產品概述

                MProbe UVVisSR薄膜測厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(硅,單晶硅,多晶硅),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

               該機大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(硅,單晶硅,多晶硅),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

        測量范圍: 1 nm -50um    

        波長范圍: 200 nm -1000 nm

        MProbe UVVisSR薄膜測厚儀適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。

        測量指標:薄膜厚度,光學常數

        界面友好: 一鍵式測量和分析。

        實用的工具:曲線擬合和靈敏度分析,背景和變形校正,連接層和材料,多樣品測量,動態測量和產線批量處理。

        (MProble NIR薄膜測厚儀系統示 )

        案例1,73nm SiN氮化硅薄膜的測量

        硅晶圓反射率,測量時間10ms

        使用Tauc-Lorentz模型,測量SiN薄膜的n和k值

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