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        鉑悅儀器(上海)有限公司

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        反射膜厚儀

        更新時間:2020-08-12

        產品品牌:Semiconsoft

        產品型號:MProbe RT

        產品描述:大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。

        產品概述

               大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(硅,單晶硅,多晶硅),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

                該機大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(硅,單晶硅,多晶硅),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

        測量范圍: 1 nm -20um(UVVis),1nm-150um(UVVisNIR)

        波長范圍: 200 nm -1000 nm(UVVis)

        200nm-1700nm(UVVisNIR)

        適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等;

        藍寶石基底上1025nm厚度的氧化物薄膜的反射率和透射率,波長范圍(200-1700nm):

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